加工定制	是
全國(guó)熱線	186-2189-6399
適用范圍	高校研究所與高新科技公司
儀器放大倍數(shù)	100X-1250X
物鏡放大倍數(shù)	4X，10X，40X，100X
品牌	Nanosurf
型號(hào)	AFSEM™
系列	原子力顯微鏡

相關(guān)AFM與SEM

	在您的SEM中進(jìn)行AFM分析 analysis in your SEM
	相關(guān)AFM與SEM分析
	兼容于大多數(shù)電鏡而不影響SEM正常操作
	同步于AFM與SEM的多種其他分析技術(shù)工具
	操作簡(jiǎn)便而直觀

互為補(bǔ)充技術(shù)的聯(lián)合是獲得進(jìn)入微納米世界的一種新型見解的重要成功因素. AFSEM?由GETec與Nanosurf提供, 讓您能輕松地聯(lián)合兩種功能強(qiáng)大的分析工具—原子力顯微鏡（AFM）與掃描電子顯微鏡（SEM）—進(jìn)而大大地?cái)U(kuò)展了您的相關(guān)顯微鏡測(cè)量與分析的可行性.

實(shí)時(shí)在您的電鏡中進(jìn)行AFM分析

The complimentary capabilities of 原子力顯微鏡（AFM）與掃描電子顯微鏡（SEM）的互為補(bǔ)充可以對(duì)您的樣品進(jìn)行獨(dú)特的表征成為可能. AFSEM?可以讓您同時(shí)對(duì)您的樣品進(jìn)行高分辨成像，構(gòu)造真實(shí)的三維表面形貌，精確地測(cè)量高度信息、距離信息甚至材料屬性, 但同時(shí)保持了在SEM的大范圍視場(chǎng)里定位AFSEM?懸臂梁到您想要測(cè)量的準(zhǔn)確位置上. 優(yōu)化的AFSEM? 工作流(不影響SEM正常運(yùn)行)確保了最高效的操作, 而強(qiáng)大的控制軟件可以實(shí)現(xiàn)最優(yōu)化與智能化的測(cè)量、系統(tǒng)操作與數(shù)據(jù)分析.

  集成AFSEM? 在Zeiss Leo 982 SEM中 (左圖). SEM圖像中實(shí)時(shí)操作AFSEM? 探針, 掃描樣品表面(右圖). 當(dāng)切換AFM與SEM成像時(shí)候, 完全不需要移動(dòng)樣品或者離開真空狀態(tài). 利用AFSEM? 一切都可能在線實(shí)時(shí)處理! SEM-AFM相關(guān)性分析

對(duì)于產(chǎn)品或材料分析, 我們總是期望利用多種技術(shù)來進(jìn)行樣品分析，而且尋求參數(shù)之間的相關(guān)性. 而像原子力顯微鏡（AFM）與掃描電鏡（SEM）這類成像技術(shù)，我們就希望在同一個(gè)準(zhǔn)確的位置進(jìn)行分析!還有什么更簡(jiǎn)單的方式進(jìn)行相關(guān)性的SEM-AFM分析比在電鏡中直接進(jìn)行AFM測(cè)量更好的辦法呢?

  Correlative 懸浮石墨烯與石墨烯相關(guān)材料的SEM與AFM相關(guān)性分析. 在低壓SEM中,懸浮石墨烯片樣品可以被觀察并確認(rèn)各層位置與厚度(A).感興趣區(qū)域可以用來進(jìn)行更高分辨率與高對(duì)比度的AFM成像(B+C).
AFSEM? can also be used to study the flexibility of unsupported graphene layers. FEI Quanta 600 FEG ESEM中的劃過的金表面測(cè)量圖： SEM 預(yù)覽圖(A), SEM 放大圖(B)與相關(guān)AFM成像圖(C) 兼容于大多數(shù)電鏡而不影響SEM正常操作

AFSEM? 適配于大多數(shù)SEM或雙光束系統(tǒng)(SEM/FIB): 它直接地安裝在系統(tǒng)腔室的門上, 而不改變樣品臺(tái)自身. 而且, 狹小的針尖掃描設(shè)計(jì)配合了自感應(yīng)探針系統(tǒng)在電子柱的尖端與樣品之間只需要4.5 mm空間即可. 所以, AFSEM? 兼容于絕大部分標(biāo)準(zhǔn)的與可選的樣品臺(tái), 而且?guī)缀蹩梢蕴幚砟芊胚M(jìn)系統(tǒng)腔室的任何一個(gè)樣品. 這種精致的設(shè)計(jì)可以在電鏡中實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)別臺(tái)階高度的測(cè)量.

      成功的AFSEM? 集成實(shí)例(點(diǎn)擊單個(gè)的SEM圖片查看詳細(xì)).
兼容于SEM儀器的完整列表 參考PDF文件. 同步于AFM與SEM的多種其他分析技術(shù)工具

因?yàn)锳FSEM? 設(shè)計(jì)保持了全部的SEM功能性, 它就可以聯(lián)合其他一些標(biāo)準(zhǔn)的SEM分析技術(shù)如FIB, FEBID與EDX等.

Schematic representation and image of the non-obstructive integration of AFSEM? in SEM/Dual Beam systems, which allows many analysis techniques (e.g. FIB, FEBID, and EDX) in addition to AFM and SEM

樣品無需掃描, 而且相對(duì)重的或訂制的樣品臺(tái)— 比如張力牽拉臺(tái)或納米壓痕臺(tái) — 都可以輕松地聯(lián)合在AFSEM中?.

AFSEM? and Deben 200N tensile stage installed in a Philips XL40 SEM (A). The SEM is used to localize the neck formation, quantify the degree of necking, and position the cantilever at the center of the neck (B). Surface roughness is quantified by AFM, and surface topology characterized in further detail (C). AFSEM? and Hysitron PI85 SEM PicoIndenter? stage installed in a Zeiss Leo 982 SEM (A). The SEM is used to position the indenter tip and to measure the extent of topological changes after the indentation (B). The slip steps are quantified by AFM (C). For more information, please see our Nanoindentation analysis by AFSEM?application note. Data courtesy: Josef Kreith & Megan Cordill, Erich Schmid institute of material science, Leoben.

從AFM方面來講,多種測(cè)量模式可以用來對(duì)應(yīng)的自感應(yīng)探針來實(shí)現(xiàn),如靜態(tài)力與動(dòng)態(tài)力成像、相位成像、力譜測(cè)量、力調(diào)制成像與導(dǎo)電力原子力顯微鏡(C-AFM), 或者更多的測(cè)量模式與探針會(huì)出現(xiàn). 可以參考實(shí)例聚焦離子束誘導(dǎo)過程(FEBIP)后的 Pt(C)導(dǎo)電性分析.

Combined SEM imaging, chemical analysis by EDX, AFM topography, and conductivity analysis using AFSEM? in a Philips XL40 instrument

這就成就了AFSEM的真正強(qiáng)大的功能?并使它成為電鏡(SEM)中的原子力顯微鏡（AFM）的世界領(lǐng)先的解決方案!

操作簡(jiǎn)便而直觀 AFSEM? mounting inside an SEM (left); self-sensing cantilever on standard connector (middle); SEM image of self-sensing cantilever (right).

AFSEM?最大程度的提供了操作的靈活性與智能化定位.三軸粗定位臺(tái)移動(dòng)探針進(jìn)入或者離開SEM的視場(chǎng)中的位置并定位探針到感興趣的位置.SEM樣品臺(tái)橫向移動(dòng)樣品為方便AFSEM?與SEM測(cè)量.垂直方向上, AFM與可以與樣品一起移動(dòng),可以讓您安全地安全地上下移動(dòng)樣品而不會(huì)撞壞AFM探針(參看AFSEM?介紹視頻).

通過一個(gè)訂制的適配板與電路密封件可以在SEM里實(shí)現(xiàn)AFSEM?的安裝. AFSEM?可以通過僅僅四個(gè)螺絲就可以安裝或拆下下來,整個(gè)過程可以不到五分鐘，可以快速與方便的集成或從系統(tǒng)中移除(參看 AFSEM?集成視頻).

所有的探針都預(yù)安裝在一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的接口上，可以快速的實(shí)現(xiàn)探針更換，不到兩分鐘即可,因此大大節(jié)省了系統(tǒng)的down機(jī)時(shí)間.因?yàn)樽愿袘?yīng)探針技術(shù)與完全自動(dòng)化探針定位調(diào)整,AFSEM?系統(tǒng)馬上就可以開始進(jìn)行操作.

AFSEM?部件與附件

	AFSEM?測(cè)量頭
	AFSEM工具套裝(包含探針)
	定位AFSEM?測(cè)量頭用XYZ樣品臺(tái)+SEM訂制適配板與密封件法蘭
	控制器、高壓放大器、計(jì)算機(jī)(在一個(gè)控制柜里) + 軟件
	AFSEM?探針