加工定制	是
全國熱線	186-2189-6399
適用范圍	高校研究所與高新科技公司
儀器放大倍數	100X-1250X
物鏡放大倍數	4X，10X，40X，100X
品牌	Nanosurf
型號	AFSEM™
系列	原子力顯微鏡

相關AFM與SEM

	在您的SEM中進行AFM分析 analysis in your SEM
	相關AFM與SEM分析
	兼容于大多數電鏡而不影響SEM正常操作
	同步于AFM與SEM的多種其他分析技術工具
	操作簡便而直觀

互為補充技術的聯(lián)合是獲得進入微納米世界的一種新型見解的重要成功因素. AFSEM?由GETec與Nanosurf提供, 讓您能輕松地聯(lián)合兩種功能強大的分析工具—原子力顯微鏡（AFM）與掃描電子顯微鏡（SEM）—進而大大地擴展了您的相關顯微鏡測量與分析的可行性.

實時在您的電鏡中進行AFM分析

The complimentary capabilities of 原子力顯微鏡（AFM）與掃描電子顯微鏡（SEM）的互為補充可以對您的樣品進行獨特的表征成為可能. AFSEM?可以讓您同時對您的樣品進行高分辨成像，構造真實的三維表面形貌，精確地測量高度信息、距離信息甚至材料屬性, 但同時保持了在SEM的大范圍視場里定位AFSEM?懸臂梁到您想要測量的準確位置上. 優(yōu)化的AFSEM? 工作流(不影響SEM正常運行)確保了最高效的操作, 而強大的控制軟件可以實現(xiàn)最優(yōu)化與智能化的測量、系統(tǒng)操作與數據分析.

  集成AFSEM? 在Zeiss Leo 982 SEM中 (左圖). SEM圖像中實時操作AFSEM? 探針, 掃描樣品表面(右圖). 當切換AFM與SEM成像時候, 完全不需要移動樣品或者離開真空狀態(tài). 利用AFSEM? 一切都可能在線實時處理! SEM-AFM相關性分析

對于產品或材料分析, 我們總是期望利用多種技術來進行樣品分析，而且尋求參數之間的相關性. 而像原子力顯微鏡（AFM）與掃描電鏡（SEM）這類成像技術，我們就希望在同一個準確的位置進行分析!還有什么更簡單的方式進行相關性的SEM-AFM分析比在電鏡中直接進行AFM測量更好的辦法呢?

  Correlative 懸浮石墨烯與石墨烯相關材料的SEM與AFM相關性分析. 在低壓SEM中,懸浮石墨烯片樣品可以被觀察并確認各層位置與厚度(A).感興趣區(qū)域可以用來進行更高分辨率與高對比度的AFM成像(B+C).
AFSEM? can also be used to study the flexibility of unsupported graphene layers. FEI Quanta 600 FEG ESEM中的劃過的金表面測量圖： SEM 預覽圖(A), SEM 放大圖(B)與相關AFM成像圖(C) 兼容于大多數電鏡而不影響SEM正常操作

AFSEM? 適配于大多數SEM或雙光束系統(tǒng)(SEM/FIB): 它直接地安裝在系統(tǒng)腔室的門上, 而不改變樣品臺自身. 而且, 狹小的針尖掃描設計配合了自感應探針系統(tǒng)在電子柱的尖端與樣品之間只需要4.5 mm空間即可. 所以, AFSEM? 兼容于絕大部分標準的與可選的樣品臺, 而且?guī)缀蹩梢蕴幚砟芊胚M系統(tǒng)腔室的任何一個樣品. 這種精致的設計可以在電鏡中實現(xiàn)亞納米級別臺階高度的測量.

      成功的AFSEM? 集成實例(點擊單個的SEM圖片查看詳細).
兼容于SEM儀器的完整列表 參考PDF文件. 同步于AFM與SEM的多種其他分析技術工具

因為AFSEM? 設計保持了全部的SEM功能性, 它就可以聯(lián)合其他一些標準的SEM分析技術如FIB, FEBID與EDX等.

Schematic representation and image of the non-obstructive integration of AFSEM? in SEM/Dual Beam systems, which allows many analysis techniques (e.g. FIB, FEBID, and EDX) in addition to AFM and SEM

樣品無需掃描, 而且相對重的或訂制的樣品臺— 比如張力牽拉臺或納米壓痕臺 — 都可以輕松地聯(lián)合在AFSEM中?.

AFSEM? and Deben 200N tensile stage installed in a Philips XL40 SEM (A). The SEM is used to localize the neck formation, quantify the degree of necking, and position the cantilever at the center of the neck (B). Surface roughness is quantified by AFM, and surface topology characterized in further detail (C). AFSEM? and Hysitron PI85 SEM PicoIndenter? stage installed in a Zeiss Leo 982 SEM (A). The SEM is used to position the indenter tip and to measure the extent of topological changes after the indentation (B). The slip steps are quantified by AFM (C). For more information, please see our Nanoindentation analysis by AFSEM?application note. Data courtesy: Josef Kreith & Megan Cordill, Erich Schmid institute of material science, Leoben.

從AFM方面來講,多種測量模式可以用來對應的自感應探針來實現(xiàn),如靜態(tài)力與動態(tài)力成像、相位成像、力譜測量、力調制成像與導電力原子力顯微鏡(C-AFM), 或者更多的測量模式與探針會出現(xiàn). 可以參考實例聚焦離子束誘導過程(FEBIP)后的 Pt(C)導電性分析.

Combined SEM imaging, chemical analysis by EDX, AFM topography, and conductivity analysis using AFSEM? in a Philips XL40 instrument

這就成就了AFSEM的真正強大的功能?并使它成為電鏡(SEM)中的原子力顯微鏡（AFM）的世界領先的解決方案!

操作簡便而直觀 AFSEM? mounting inside an SEM (left); self-sensing cantilever on standard connector (middle); SEM image of self-sensing cantilever (right).

AFSEM?最大程度的提供了操作的靈活性與智能化定位.三軸粗定位臺移動探針進入或者離開SEM的視場中的位置并定位探針到感興趣的位置.SEM樣品臺橫向移動樣品為方便AFSEM?與SEM測量.垂直方向上, AFM與可以與樣品一起移動,可以讓您安全地安全地上下移動樣品而不會撞壞AFM探針(參看AFSEM?介紹視頻).

通過一個訂制的適配板與電路密封件可以在SEM里實現(xiàn)AFSEM?的安裝. AFSEM?可以通過僅僅四個螺絲就可以安裝或拆下下來,整個過程可以不到五分鐘，可以快速與方便的集成或從系統(tǒng)中移除(參看 AFSEM?集成視頻).

所有的探針都預安裝在一個標準的接口上，可以快速的實現(xiàn)探針更換，不到兩分鐘即可,因此大大節(jié)省了系統(tǒng)的down機時間.因為自感應探針技術與完全自動化探針定位調整,AFSEM?系統(tǒng)馬上就可以開始進行操作.

AFSEM?部件與附件

	AFSEM?測量頭
	AFSEM工具套裝(包含探針)
	定位AFSEM?測量頭用XYZ樣品臺+SEM訂制適配板與密封件法蘭
	控制器、高壓放大器、計算機(在一個控制柜里) + 軟件
	AFSEM?探針